渦輪分子泵——真空泵中的領(lǐng)導(dǎo)者

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。

完美的真空解決方案 滿(mǎn)足較高要求

普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性?xún)r(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類(lèi)型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無(wú)任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過(guò) 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過(guò)理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過(guò)UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過(guò)高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開(kāi)創(chuàng)的。

優(yōu)化客戶(hù)利益

真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬(wàn)歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來(lái)越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬(wàn)小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場(chǎng)更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。

應(yīng)用

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
 

應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：

分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽(yáng)能電池等）

光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車(chē)燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

HiPace? 10

具有 10 l/s 對(duì)于 N2 抽吸能力的小型堅(jiān)固渦輪泵

產(chǎn)品描述

集成的驅(qū)動(dòng)電子裝置，防護(hù)類(lèi)型 IP54 適合于工業(yè)用途

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運(yùn)行安全性

較小結(jié)構(gòu)形成的較低空間要求

特別抗振，適合移動(dòng)式應(yīng)用

HiPace? 10

集成的驅(qū)動(dòng)電子裝置，防護(hù)類(lèi)型 IP54 適合于工業(yè)用途

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運(yùn)行安全性

較小結(jié)構(gòu)形成的較低空間要求

特別抗振，適合移動(dòng)式應(yīng)用

HiPace? 10，具有 TC 110，DN 25

接頭 DN 25

具有 24 V 供電電壓的集成驅(qū)動(dòng)電子裝置

可便攜使用

不要求其它冷卻裝置

朝向預(yù)真空接口的電子接口

世界較小系列渦輪泵

具有 10 l/s 對(duì)于 N2 抽吸能力的緊湊和堅(jiān)固渦輪泵

2707-Operating voltage: V DC24 (± 5 %) V DC

Ar 的壓縮比2.5 · 107

Ar 的抽速11.5 l/s

Ar 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s

H2 的壓縮比3 · 102H2 的抽速3.7 l/s

H2 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量2.78 hPa l/s | 2.08 Torr l/s | 2.78 mbar l/s

He 的壓縮比3 · 103He 的抽速6 l/s

He 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量0.48 hPa l/s | 0.36 Torr l/s | 0.48 mbar l/s

I/O 接口RS-485, 

遠(yuǎn)程N(yùn)2 的壓縮比3 · 106

N2 的抽速10 l/sN2 的較大預(yù)真空